±¸¹Ì½Ã(½ÃÀå ±èÀåÈ£)´Â 1¿ù 18ÀÏ(¼ö) ±¸¹Ì½Ãû »óȲ½Ç¿¡¼ °æ»óºÏµµ ÀÌö¿ì Áö»ç, ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁö ¹Ú¼ºÈÆ ´ëÇ¥, ±¸ÀÚ±Ù․±è¿µ½Ä ±¹È¸ÀÇ¿ø ¹× ½Ã․µµÀÇ¿ø, ±â°ü´ÜüÀåÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥ ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁöÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°ºÐ¾ß Á¦2°øÀå¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚ¾çÇØ°¢¼(MOU) ü°á½ÄÀ» °³ÃÖÇß´Ù.
À̹ø ÅõÀÚÇù¾à¿¡¼ ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁö´Â ±¸¹Ì ÇÏÀÌÅ×Å©¹ë¸® ³» Á¦2°øÀå(1¸¸2õÆò ±Ô¸ð)À» Âø°øÇÏ¿© 389¾ï¿øÀ» ÅõÀÚ, 52¸í ÀÌ»óÀ» °í¿ëÇÒ °èȹÀ¸·Î, Áö¿ª°æÁ¦ È°¼ºÈ ¹× ½Å±Ô ÀÏÀÚ¸® âÃâ¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁö´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½Ç¸®ÄÜ, »çÆÄÀ̾î, ¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°À» ¸¸µå´Â ¼ÒÀçºÎÇ° Àü¹®±â¾÷À¸·Î â¾÷ ÀÌ·¡ ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÀÇ·áÁ¤¹Ð±â±â µî ºÐ¾ß¿¡¼ µÎ°¢À» ³ªÅ¸³»°í ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Electrode´Â Plasma Etching°øÁ¤ÀÇ ÇٽɺÎÇ°À¸·Î Gas¸¦ ±ÕÀÏÇÏ°Ô Èê·ÁÁÖ°í Plasma¸¦ ±ÕÀÏÇÏ°Ô »ý¼º½ÃÄÑ Wafer¿¡ ¹Ì¼¼¼±À» EtchingÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°À̸ç, RingÀº Electrode¿¡¼ »ý¼ºµÈ Plasma°¡ Wafer¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô °¡µµ·Ï ¾È³»ÇØÁÖ´Â ¿ªÇÒ°ú ÇϺÎÀÇ ESC ChuckÀ» º¸È£ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ° ½Ç¸®ÄÜ ºÎÇ°(Electrode, Ring µî) Á¦Á¶¿¡ À־ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ÀÚ¶ûÇÏ°í ÀÖ¾î Àü ¼¼°è¿¡¼ ÀÎÁ¤¹Þ´Â µ¶º¸ÀûÀÎ ½Ç¸®ÄÜ ºÎÇ° Á¦Á¶ ±â¼ú º¸À¯±â¾÷ÀÌ´Ù.
2020³â¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢°øÁ¤ÀÇ ÇٽɺÎÇ°ÀÎ ½Ç¸®ÄÜ ºÎÇ° Á¦Á¶°øÀåÀ» MES±â¹ÝÀÇ ½º¸¶Æ®ÆÑÅ丮Çü °øÀåÀÎ ÀÏ°ü ¾ç»êüÁ¦ÀÇ ¿¬°£ 5¸¸Àå ÀÌ»óÀÇ »ý»êCapa´É·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ °øÀåÀ¸·Î °Ç¸³ÇÏ¿´À¸¸ç, ÄÚ¸¶Å×ÄÚ³î·ÎÁöÀÇ 100% ÀÚȸ»çÀÎ ¼¿¸¯Àº ±¹³» À¯ÀÏÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿¡ÇÁÅ͸¶ÄÏ¿ë ½Ç¸®ÄÜ ÆÄÃ÷¿ë À×°÷À» »ý»êÇÏ¿©, ±×°£ ±¹³» ¾÷üÀÇ °íÁúÀûÀÎ ¹®Á¦ÀÎ ¿ø¼ÒÀç °ø±Þ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ¼ÒÀçÀÇ ±¹»êȸ¦ ÀÌ·èÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ À̹ÙÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁö´Â Áö³ 11¿ù °³ÃÖµÈ ¡®2022 °æºÏ Áß¼Ò±â¾÷´ë»ó ½Ã»ó½Ä¡¯¿¡¼ °æ¿µÇõ½ÅºÐ¾ß ´ë»óÀ» ¼ö»óÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°»ý»êÀÇ ¿ì¼ö¼ºÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
ÇöÀç ±¸¹Ì½Ã´Â ºñ¼öµµ±Ç Áö¿ª¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô ¿ø¼ÒÀ硤ºÎÇ°ºÎÅÍ ¼ö¿ä±â¾÷±îÁö ¹ÝµµÃ¼ Àü °ø±Þ¸ÁÀÌ ¿ÏºñµÇ¾îÀÖ´Â µµ½Ã·Î¼ ±¸¹Ì±¹°¡»ê¾÷´ÜÁö ³»¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ µî ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â¾÷ÀÌ 360¿© °³»ç³ª µÈ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ÀÛ³â ÇÑ ÇØ µ¿¾È ±¸¹Ì½Ã¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ´ë±Ô¸ð ÅõÀÚµµ ÀÕµû¶ú´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶¾÷ü SK½ÇÆ®·ÐÀÇ °øÀåÁõ¼³À» À§ÇØ 1Á¶ 5¹é¾ï ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚÀ¯Ä¡¿¡ ¼º°ø, ÇöÀç Ãß°¡ ÅõÀÚ°èȹÀ» ³íÀÇ Áß¿¡ ÀÖÀ¸¸ç LGÀ̳ëÅØÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ Çø³Ä¨-º¼±×¸®µå¾î·¹ÀÌ(FC-BGA) ¹× Ä«¸Þ¶ó ¸ðµâ °ü·Ã 1Á¶ 4õ¾ï ÅõÀÚÀ¯Ä¡¸¦ À̲ø¾î³» ±¸¹Ì½Ã°¡¡®±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ±âÁö¡¯·Î ±ÞºÎ»óÇÏ¿´´Ù.
¶ÇÇÑ ¿øÀÍÅ¥¿£¾¾(800¾ï), ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁö(389¾ï) µî ¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀç․ºÎÇ°À» »ý»êÇÏ´Â ±â¾÷üÀÇ ÀÕµû¸¥ ÅõÀÚ´Â ±¸¹Ì¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ƯȴÜÁö ÁöÁ¤ÀÇ Á¤´ç¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ¿´´Ù.
±èÀåÈ£ ±¸¹Ì½ÃÀåÀº¡°ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁöÀÇ ±Ý¹ø ÅõÀÚ·Î ±¸¹Ì½ÃÀÇ Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀçºÎÇ° ƯȴÜÁö À¯Ä¡¿¡ ÇÑ ¹ß ´õ ´Ù°¡°¥ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÃÖ±Ù µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ, ¸ÞŸ¹ö½º, ÀÚÀ²ÁÖÇà µî »ê¾÷±º¿¡ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÇ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÑ °¡¿îµ¥, Áö¿ªÀÇ ¿ì¼ö ±â¼ú±â¾÷ÀÎ ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁöÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ê¾÷ ÅõÀÚ´Â Áö¿ª ³» ÀÏÀÚ¸® âÃâ ¹× Áö¿ª°æÁ¦ È°¼ºÈ¿¡ ¸¹ÀÌ ±â¿©ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ±Û·Î¹ú ÷´Ü ¼ÒÀçºÎÇ° Àü¹®±â¾÷À» ÇâÇØ ÀüÁøÇÏ°í ÀÖ´Â ÄÚ¸¶Å×Å©³î·ÎÁö°¡ °æºÏ ±¸¹Ì¿¡¼ ´õ¿í ÈûÂ÷°Ô µµ¾àÇÏ±æ ±â´ëÇÑ´Ù.¡±¶ó¸ç ÅõÀÚ¾çÇØ°¢¼ ü°á ¼Ò°¨À» ¹àÇû´Ù.
±â»çµî·Ï : °æºÏ´º½º¶óÀÎ / kth0997@hanmail.net
# [°æºÏ´º½º¶óÀÎ]ÀÇ ¸ðµç ±â»ç¿Í »çÁøÀº ÀúÀ۱ǹý¿¡ µû¶ó ¹«´ÜÀüÀç½Ã ÀúÀ۱ǷḦ û±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.