±¸¹Ì½Ã´Â 27ÀÏ ±¸¹ÌÇÏÀÌÅ×Å©¹ë¸®(±¸¹Ì±¹°¡5»ê´Ü)¿¡¼ ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ÀÇ Ä·ÆÛ½º S ÁØ°ø½ÄÀ» °³ÃÖÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̳¯ ÁØ°ø½Ä¿¡´Â ±èÇÐÈ« °æºÏµµ ÇàÁ¤ºÎÁö»ç, ¹Ú´ö¿ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ ÅõÀÚÁ¤Ã¥°ü, ±èÀåÈ£ ±¸¹Ì½ÃÀå, ±¸ÀÚ±Ù ±¹È¸ÀÇ¿ø, ±è¿µ½Ä ±¹È¸ÀÇ¿ø, ¾ÈÁÖÂù ±¸¹Ì½ÃÀÇȸ ÀÇÀå, ¿øÀͱ׷ì ÀÌ¿ëÇÑ È¸Àå, ±Ç¿ÀÇö »ï¼ºÀüÀÚ îñȸÀå, ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ ¹éÈ«ÁÖ ´ëÇ¥ÀÌ»ç ¹× È¸»ç ÀÓÁ÷¿øµéÀÌ Âü¼®ÇØ ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ Ä·ÆÛ½º S ÁØ°øÀ» ±â³äÇÏ°í ¹øâÀ» ±â¿øÇß´Ù.
¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾´Â 1983³â ±¸¹Ì¿¡¼ ¼³¸³µÈ ÇâÅä±â¾÷À¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ÄõÃ÷ ¹× ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç‧ÀåºñºÎÇ° ¼¼Á¤, µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ÀÇ·á±â±â¿ë ·¥ÇÁ»ç¾÷ µî ÃÑ 4°³ÀÇ »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Áö³ 40³â°£ ²ÙÁØÇÑ ±â¼ú°³¹ß ¹× Àû±ØÀû ÅõÀÚ·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀåÀ» °ÅµìÇØ ÇöÀç ÄõÃ÷ ½ÃÀå¿¡¼ ±Û·Î¹ú Á¡À¯À² 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù.
µ¿»ç´Â ¼¼°èÀûÀÎ ±â¼ú·Â°ú Á¦Á¶·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷À» ºñ·ÔÇØ TSMC, Intel, Micron µî ÁÖ¿ä ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü¿Í LAM¡¡Research, Tokyo Electron µî ±Û·Î¹ú Àåºñ Á¦Á¶¾÷ü¿¡ ÄõÃ÷¿þ¾î¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷, ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ÀÇ ±â¼ú ³ëÇÏ¿ì·Î ´ë¸¸, µ¶ÀÏ µî ÇöÁö »ý»ê°øÀåÀ» ¿î¿µÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, µð¹ÙÀ̽º º¯°æ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ChamberÀÇ Plasma Density, Etching Gas µîÀÇ È¯°æ º¯È¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼¿ë ºÎÇ° Particle, Life time µîÀÇ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ÄõÃ÷¿þ¾î ¹Ì¼¼°¡°ø‧¿ëÁ¢Á¶¸³‧¼¼Á¤ ¹× ÄÚÆñâ¼úÀÇ °³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇöÀç ±¸¹Ì±¹°¡»ê´Ü ³» 4°³ÀÇ °øÀåÀ» ºñ·ÔÇØ ±Û·Î¹ú ±âÁØ ¹Ì±¹, ´ë¸¸, µ¶ÀÏ, ÀϺ», Áß±¹ µî ±¹³»¿Ü ÃÑ 19°³ °øÀå(±¹³» 5, ¹Ì±¹ 4, ´ë¸¸ 2, µ¶ÀÏ 2, ÀϺ» 4, Áß±¹ 2)À» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, 2,400¿© ¸íÀÇ ÀÓÁ÷¿øÀÌ »ý»êÈ°µ¿¿¡ Á¾»çÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¾Æ¿ï·¯, ±Þ°ÝÇÑ ¿ÜºÎ ȯ°æ º¯È¿Í ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ Æз¯´ÙÀÓ Àüȯ¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ ³»Àû ¼ºÀå°ú ÇÔ²² M&A·Î ¹Ì·¡ ¼ºÀ嵿·ÂÀ» È®º¸ÇØ ³ª°¡°í ÀÖ´Ù.
±èÀåÈ£ ±¸¹Ì½ÃÀåÀº ¡°40³â°£ ±¸¹Ì»ê´Ü°ú ÇÔ²²ÇØ ¿Â ÇâÅä±â¾÷, ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÄõÃ÷¿þ¾î »ý»ê°øÀåÀº ¿ì¸® ±¸¹Ì½Ã°¡ ¾ß½ÉÂ÷°Ô ÃßÁøÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ƯȴÜÁö Á¶¼º¿¡ Å« Ãʼ®ÀÌ µÉ °ÍÀÌ´Ù¡±°í Çß´Ù.
±â»çµî·Ï : °æºÏ´º½º¶óÀÎ / kth0997@hanmail.net
# [°æºÏ´º½º¶óÀÎ]ÀÇ ¸ðµç ±â»ç¿Í »çÁøÀº ÀúÀ۱ǹý¿¡ µû¶ó ¹«´ÜÀüÀç½Ã ÀúÀ۱ǷḦ û±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.